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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING GRATINGS IN SEMICONDUCTOR MATERIALS THAT READILY OXIDISE
摘要
申请公布号 EP1678795(A1) 申请公布日期 2006.07.12
申请号 EP20040769747 申请日期 2004.10.29
申请人 BOOKHAM TECHNOLOGY PLC 发明人 FINLAY, RICHARD;KNIGHT, GORDON D.;GOODCHILD, DARREN P.;HINZER, KARIN
分类号 H01L21/308;B44C1/22;G02B5/18;H01L21/302;H01S5/12;H01S5/20;(IPC1-7):H01S5/12;H01L21/306 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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