| 发明名称 | 薄板状物的位移量检测方法和位移量修正方法 | ||
| 摘要 | 在薄板状物的取出、接纳时，进行支承臂的末端执行器(11)上薄板状物的适当位置和错动位置的检测，并且有效地进行其修正作业。检测机构(18)设置于支承臂(14)上，检测机构(18)呈コ字形体，其开口位于末端执行器(11)侧，并且在薄板状物(2)通过时不造成妨碍，具有进深。 | ||
| 申请公布号 | CN1802736A | 申请公布日期 | 2006.07.12 |
| 申请号 | CN03826756.X | 申请日期 | 2003.07.07 |
| 申请人 | 日商乐华股份有限公司 | 发明人 | 崎谷文雄 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);B65G49/06(2006.01);B25J13/08(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.一种薄板状物的位移量检测方法，其特征在于在薄板状物的操作装置中，在包括该操作装置的位置的基准坐标系统的条件下，检测上述薄板状物的位移量时，在保持薄板状物的末端执行器的支承臂上安装检测机构，伴随该支承臂的旋转，上述薄板状物的缘部和检测机构的圆弧轨迹交叉，将由此获得的数值与预定的薄板状物的该数值进行比较，计算修正位移量。 | ||
| 地址 | 日本国广岛县 | ||