| 发明名称 | 具有全氟化多官能阴离子的光酸产生剂 | ||
| 摘要 | 本发明公开了包括光活性部分和全氟化多官能阴离子部分(或初始阴离子部分)的光酸产生剂(PAGs)，其提供具有高酸强度、低挥发性和低扩散率的光酸。本发明进一步涉及用在光引发或酸催化过程中的光酸产生剂，例如用作微米平板印刷和光聚合作用的光致抗蚀剂。 | ||
| 申请公布号 | CN1802607A | 申请公布日期 | 2006.07.12 |
| 申请号 | CN200480014082.X | 申请日期 | 2004.05.07 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 威廉·M·拉曼纳 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/039(2006.01);G03F7/038(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 郭国清;樊卫民 |
| 主权项 | 1.一种离子光酸产生剂，包括：(a)有机鎓阳离子，和(b)通式-O3S-Rf-Z的阴离子，其中：Rf为全氟化二价亚烷基部分、环亚烷基部分或其组合，任选含成链的S或N；和Z为-SO3-或-CO2-。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||