一种等离子显示屏下基板的制作方法

摘要

一种等离子显示屏下基板的制作方法，首先，在带有寻址电极图形的玻璃基板上印刷障壁浆料并干燥，然后对其进行烧结；在烧结后的障壁层上粘贴一层耐酸不耐碱的感光性抗蚀干膜或直接印刷或涂敷一层感光性的抗蚀膜形成抗蚀层，再通过障壁母版对抗蚀层进行曝光和显影，形成障壁图形；以抗蚀层上的障壁图形作为刻蚀的掩膜版根据所要求得到的障壁的高度用盐酸溶液其进行刻蚀，根据所要求得到的障壁的高度控制刻蚀的时间从而形成障壁材料介质层和障壁；用碱溶液剥掉障壁顶部的抗蚀层5，再通过丝网印刷法在障壁间涂敷红、绿、蓝荧光粉即可。本发明以障壁底层代替介质层来保护下面的寻址电极，从而减少了一次印刷介质和烧结介质的工序，降低了制作成本。

主权项

1、一种等离子显示屏下基板的制作方法，其特征在于：1)首先，在带有寻址电极图形[2]的玻璃基板[1]上印刷厚度为180um-220um的白色障壁浆料及厚度为20um-50um的黑色障壁浆料，然后在130℃-160℃下干燥形成白色障壁层[3]和黑色障壁层[4]，且白色障壁层[3]和黑色障壁层[4]的总厚度等于介质层和障壁层的高度；2)其次，对白色障壁浆料层[3]和黑色障壁浆料层[4]在550℃-570℃烧结；3)然后，在烧结后的黑色障壁层[4]上粘贴一层耐酸不耐碱的感光性抗蚀干膜或直接印刷或涂敷一层感光性的抗蚀膜形成抗蚀层[5]，再通过常规工艺用障壁母版对抗蚀层[5]进行曝光和显影，形成障壁图形[6]；4)再以抗蚀层[5]上的障壁图形[6]作为刻蚀的掩膜版根据所要求得到的障壁的高度用质量浓度为1.0-10％的盐酸溶液对白色障壁层[3]和黑色障壁层[4]进行刻蚀并控制刻蚀速度为0.5m/min-3.0m/min，根据所要求得到的障壁的高度控制刻蚀的时间从而形成障壁材料介质层[7]和障壁[8]；5)最后，用碱溶液剥掉障壁顶部的抗蚀层[5]，再通过丝网印刷法在障壁间涂敷红、绿、蓝荧光粉即可。