圆弧导轨纳米压印倾斜校正机构

摘要

圆弧导轨纳米压印倾斜校正机构，由上中下圆弧导轨、限位外套、压模卡盘、压模、基片、钢球或滚柱、上下隔离架、拉簧和拉簧挂销组成，上中下圆弧导轨之间有钢球或滚柱，并通过拉簧拉紧连接，下圆弧导轨与装有压模的压模卡盘相接，正对压模的下方是基片，限位外套安装在上圆弧导轨上，它的下方四周对下圆弧导轨的旋转角度范围起限位作用。当压模和基片由于不平行，在下压时某处先接触，压模可绕过压模下表面中心点的Y或X轴线作微滚动旋转，达到压模和基片的完全平行贴合与压紧，不产生对准偏离与在水平面内旋转，使纳米压印套准精度大幅提高，制作出复杂多层的纳米图形结构，该机构用常规设备加工，制作方便，成本低廉，应用广泛。

主权项

1、圆弧导轨纳米压印倾斜校正机构，其特征在于：由上圆弧导轨(1)、中圆弧导轨(2)、下圆弧导轨(3)、限位外套(4)、压模卡盘(5)、压模(6)、基片(7)、钢球(8)或滚柱(13)、上隔离架(9)、下隔离架(10)、4个拉簧(11)和8个拉簧挂销(12)组成，上圆弧导轨(1)、中圆弧导轨(2)、下圆弧导轨(3)之间均设有钢球(8)或滚柱(13)，4个拉簧(11)的两端挂钩分别挂在安装在上圆弧导轨(1)和下圆弧导轨(3)上的各4个拉簧挂销(12)上，下圆弧导轨(3)与压模卡盘(5)相接，压模(6)装于压模卡盘(5)内，正对压模(6)的下方是基片(7)，上隔离架(9)位于上圆弧导轨(1)和中圆弧导轨(2)之间，由中圆弧导轨(2)或钢球(8)支撑，下隔离架(10)位于中圆弧导轨(2)和下圆弧导轨(3)之间，由下圆弧导轨(3)或钢球(8)支撑，钢球(8)或滚柱(13)位于各隔离架内，限位外套(4)安装在上圆弧导轨(1)上，它的下方四周对下圆弧导轨(3)的旋转角度范围起限位作用；当压模(6)和基片(7)由于不平行，在下压时某处先接触，压模(6)可绕过压模(6)下表面中心点的Y或X轴线作滚动微旋转，达到压模(6)和基片(7)的完全平行贴合与压紧，不产生对准偏离与在水平面内旋转。