有机EL显示装置的制造装置以及使用其制造有机EL显示装置的方法

摘要

提供一种能够得到即使在高温环境下也可以长时间抑制暗点产生的有机EL显示装置的制造装置和制造方法。因此，在有机EL显示装置的制造装置中，具备用于搬入支持基板的第1单元，用于在有机发光介质形成前至少加热支持基板进行脱水处理的第2单元，用于形成有机发光介质和上部电极的第3单元，和用于通过上述密封用部件密封周围的第4单元，在第2单元和第3单元之间设有第1单元，而且在该第1单元中设有搬送装置的同时，在第3单元和第4单元之间设有第2搬送装置。

主权项

1、有机EL显示装置的制造装置，所说的制造装置是用于制造支持基板上至少具有下部电极、有机发光介质和上部电极，同时周围用密封用部件密封的有机EL显示装置的制造装置，其特征在于包括：用于搬入上述支持基板的第1单元，用于在上述有机发光介质形成前至少加热上述支持基板进行脱水处理的第2单元，用于形成上述有机发光介质和上部电极的第3单元，和用于通过上述密封用部件密封周围的第4单元，同时在各单元之间设有搬送装置。