| 主权项 |
1.一种喷墨记录头,包含: 一基板,具有一第1面及一与该第1面对向的第2面, 一喷出口,设置于该第1面, 一热能产生装置,配置于该第1面的喷出口, 一墨水供给口,从该第1面贯通到该第2面, 一过滤器,具有复数个贯穿孔,该过滤器配置于该 基板之第2面,以覆盖该第2面之墨水供给口,每一贯 穿孔的开口直径的大小为通过该喷出口的几何学 中心的直线和该喷出口的边缘的交点间之最长直 线距离,或短于其直线距离。 2.如申请专利范围第1项之喷墨记录头,其中于该基 板的第1面包括一流道形成部材,其具有该喷出口; 及沟槽,其连通该喷出口和该墨水供给口。 3.如申请专利范围第1项之喷墨记录头,其中该基板 有复数个墨水供给口。 4.如申请专利范围第1项之喷墨记录头,其中该复数 个贯穿孔的每一个为圆形,其直径的大小与直线距 离相同或短于直线距离。 5.如申请专利范围第1项之喷墨记录头,其中该过滤 器为感光性树脂,黏着于该基板之该第2面。 6.如申请专利范围第1项之喷墨记录头,其中另包括 配置在该过滤器上之第1金属层及配置在该基板第 2面上之第2金属层,其中第1和第2金属层被接合。 7.如申请专利范围第1项之喷墨记录头,其中该基板 第2面的墨水供给口的开口面积比第1面的墨水供 给口的开口面积大。 8.如申请专利范围第2项之喷墨记录头,其中该基板 第2面的墨水供给口的开口面积比第1面的墨水供 给口的开口面积大。 9.如申请专利范围第3项之喷墨记录头,其中该基板 第2面的墨水供给口的开口面积比第1面的墨水供 给口的开口面积大。 10.如申请专利范围第4项之喷墨记录头,其中该基 板第2面的墨水供给口的开口面积比第1面的墨水 供给口的开口面积大。 11.一种具有墨水喷出口的喷墨记录头的制造方法, 该方法包含以下步骤: 形成一支持部材; 于该支持部材上形成一树脂层; 于该树脂层,形成复数个贯穿孔,以使每一贯穿孔 的开口直径的大小为通过该喷出口的几何学中心 的直线和该喷出口的边缘的交点间之最长直线距 离,或短于其直线距离; 形成一基板,该基板包括一第1面及一与该第1面对 向的第2面;该喷出口,设置于该第1面;热能产生元 件,设置于该第1面的该喷出口;及墨水供给口,从该 第1面贯通到该第2面; 接合该树脂层至该基板之该第2面; 从该树脂层除去该支持部材。 12.如申请专利范围第11项之喷墨记录头的制造方 法,其中该支持部材包括矽晶圆及能够蚀刻的金属 中的至少一者。 13.如申请专利范围第11项之喷墨记录头的制造方 法,其中该树脂层包括感光性树脂。 14.如申请专利范围第11项之喷墨记录头的制造方 法,其中该接合步骤包括,于该头部基板的该第2面 涂聚醯胺,使设有该贯穿孔的该树脂层与涂有聚醯 胺之该第2面紧密接触地接合,之后实施加热接着 。 15.如申请专利范围第11项之喷墨记录头的制造方 法,该方法另包含以下步骤: 在形成该树脂层在该支持部材上的步骤之后,形成 一金属层在该树脂层上; 形成该贯穿孔于该金属层及该树脂层; 形成一头部侧金属层在该基板的第2面上; 在真空状态中,以清洁气体清净该金属层及该头部 侧金属层;及 使该金属层与该头部侧金属层紧密接触地接合,然 后加压与该头侧金属层接合之该金属层。 16.如申请专利范围第15项之喷墨记录头的制造方 法,在使该金属层与头部侧金属层紧密接触地接合 的步骤之后,另包含加热与该头部侧金属层接合之 该金属层的步骤。 17.如申请专利范围第11项之喷墨记录头的制造方 法,其中形成贯穿孔的步骤包含于比该墨水供给口 的开口面积更大之该树脂层的面积中形成该贯穿 孔。 18如申请专利范围第11项之喷墨记录头的制造方法 ,其中形成该基板的步骤,包含形成墨水供给口的 步骤,以使第2面的该墨水供给口的开口面积比第1 面的墨水供给口的开口面积大。 19.一种喷墨记录头,该喷墨记录头系藉由依据申请 专利范围第11项之方法制造。 图式简单说明: 图1为具备过滤器的习知喷墨记录头之构造侧面图 。 图2A~2C为图5A~5E中表示喷墨记录头的过滤器的详细 构造中一部份断面图。 图3A~3D为依据本发明第1实施例之喷墨记录头的制 造方法中形成过滤器的步骤图。 图4A~4C为解说过滤器形成方法的不同,造成贯穿孔 开口径的差异的示意图。 图5A~5E为依据本发明第2实施例之喷墨记录头的制 造方法中形成过滤器的步骤图。 图6A~6E为依据本发明第3实施例之喷墨记录头的制 造方法中形成过滤器的步骤图。 图7A,7B为示意依据本发明之喷墨记录头的制造方 法的说明图,(a)为说明于基板接合支持部材和过滤 器时的状态的斜视图,图7B为图7A中的方法,说明从 里面看有接合过滤器的喷墨记录头时,过滤器和墨 水供给口的位置之示意图。 图8A,8B为表示依据本发明之喷墨记录头,加以变化 的例子之说明图,图8A为侧面断面图,图8B为从里面 看喷墨记录头时,说明过滤器和墨水供给口的位置 之示意图。 |
