真空卡盘

摘要

本发明提供一种真空卡盘，是不会因剥离带电引起电路破坏的真空卡盘。真空卡盘(1)，由以下几部分构成：在其上端的一部分上形成装卸工件W的吸附面(2)的衬垫(3)；在保持衬垫(3)的同时形成真空空间(4)的环状物(5)；安装环状物的螺钉(6)；球面支援衬垫(3)的中间板(7)等，真空卡盘安装在机械手上。当工件W的材料是玻璃时，吸附面(2)由在衬垫(3)的上端面(31)稍稍突出的顶部平面部(32)上通过涂敷与玻璃带电等级接近的SiO2等形成。由于吸附面采用与工件带电等级接近的材料，当从工件上装卸吸附面时，降低了在工件上产生的剥离带电量，能够防止工件的电路破坏。

主权项

1.一种真空卡盘,具有吸附面,该吸附面系可藉由形 成真空状态或解除该真空状态而吸附或脱离基板 之外面,该基板上形成有包含薄膜电晶体电路之电 子电路,其特征在于: 前述吸附面系经由涂敷与前述基板表面之材料相 同之材料,或带电等级近似材料中之任一者而形成 ,前述带电等级近似材料系指于带电列中具有之等 级,近似于前述基板材料之等级者。 图式简单说明: 第1图是表示适用于本发明的真空卡盘的实施例的 剖面图,(a)及(b)分别表示了全体和部分。 第2图表示了装配有上述真空卡盘的机械手的一种 实施例,(a)是平面图,(b)是(a)的沿b-b线的剖面图。 第3(a)到(d)图是表示用装配了上述真空卡盘的机械 手移动工件时的状态的说明图。