| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT HAVING A PLURALITY OF EXPOSURE DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060080717(A) |
申请公布日期 |
2006.07.11 |
| 申请号 |
KR20050001131 |
申请日期 |
2005.01.06 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
LEE, JAE DOUK |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/02;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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