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发明名称 APPARATUS FOR SEALING THE DRIVING SHAFT FOR THE EFFUSION CELL IN THE DEPOSITION SYSTEM AND DEPOSITION SYSTEM HAVING IT
摘要
申请公布号 KR20060080475(A) 申请公布日期 2006.07.10
申请号 KR20050000957 申请日期 2005.01.05
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 JUNG, SUNG WHA;KANG, EU GENE
分类号 H05B33/10 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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