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发明名称
Verfahren zur Herstellung hoher Dotierungsgrade in Halbleiterkristallen
摘要
申请公布号
CH443233(A)
申请公布日期
1967.09.15
申请号
CH19630011261
申请日期
1963.09.12
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
ZIEGLER,GUENTHER,DR.;WINSTEL,GUENTER,DR.
分类号
C30B31/00;G01S7/28;H01L21/00;H01L29/00;(IPC1-7):B01J17/34;H01L7/02
主分类号
C30B31/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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