| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского. Задача полезной модели -повышение надежности работы привода за счет возможности применения современных серводвигателей, обеспечивающих высокоточное программированное передвижение и вращение монокристалла. Кроме того, полезная модель позволяет уменьшить вертикальные габариты из-за установки двигателя передвижения монокристалла на корпусе привода и отсутствие коллектора со щетками, а следовательно снизить динамическую разбалансировку. Технический результат достигается тем, что в приводе вращения и передвижения растущего монокристалла, содержащем расположенную в корпусе карусель, приводимую в движение через шестерни и трансмиссионной вал двигателем вращения монокристалла, а также установленный внутри карусели барабан, приводимый во вращение двигателем передвижения монокристалла, двигатель передвижения монокристалла установлен на неподвижном корпусе с возможностью передачи вращения барабану через встроенный в корпусе дифференциал, при этом выполняют условие, что при остановленном двигателе передвижения монокристалла передаточное число зубчатых колес от трансмиссионного вала к карусели равно произведению передаточного числа зубчатых колес от трансмиссионного вала к дифференциалу на передаточное число конических колес дифференциала.</p> |
