发明名称 DEVICE OF NANO IMPRINTING
摘要
申请公布号 KR100602176(B1) 申请公布日期 2006.07.10
申请号 KR20050048387 申请日期 2005.06.07
申请人 HWAJIN INDUSTRY, INC. 发明人 LEE, PHIL HYEON
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址