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经营范围
发明名称
DEVICE OF NANO IMPRINTING
摘要
申请公布号
KR100602176(B1)
申请公布日期
2006.07.10
申请号
KR20050048387
申请日期
2005.06.07
申请人
HWAJIN INDUSTRY, INC.
发明人
LEE, PHIL HYEON
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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