发明名称 VACUUM TWEEZER FOR TRANSFERING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20060080072(A) 申请公布日期 2006.07.07
申请号 KR20050000614 申请日期 2005.01.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YANG, SUNG MO
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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