| 发明名称 |
PROCEDE ET SYSTEME DE DIFFUSOMETRIE |
| 摘要 |
L'invention concerne un système et un procédé pour déterminer efficacement et avec précision des profils de réseau en utilisant une adaptation de signature caractéristique. Un diffusomètre (20) comporte une source de lumière (30) et un détecteur (32) au moyen desquels il est possible de déterminer avec précision un décalage DeltaOL de superposition de réseaux.Domaine d'application : fabrication de semiconducteurs, etc. |
| 申请公布号 |
FR2880472(A1) |
申请公布日期 |
2006.07.07 |
| 申请号 |
FR20050013463 |
申请日期 |
2005.12.29 |
| 申请人 |
ACCENT OPTICAL TECHNOLOGIES, INC.;INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
SMITH NIGEL PETER;KU YI SHA;WANG SHIH CHUN;KO CHUN HUNG |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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