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发明名称 Method for ashing the semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100598283(B1) 申请公布日期 2006.07.07
申请号 KR20040115632 申请日期 2004.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/027 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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