发明名称 APPARATUS FOR SURFACE TREATMENT UTILIZING PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 KR20060079993(A) 申请公布日期 2006.07.07
申请号 KR20050000427 申请日期 2005.01.04
申请人 LEE, GON GU 发明人 LEE, GON GU
分类号 H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
地址