Thermisch stabiler Multilayer-Spiegel für den EUV-Spektralbereich

摘要

Bei einem Multilayer-Spiegel (1) zur Reflexion von EUV-Strahlung, der eine Mehrzahl alternierender Molybdänschichten (4) und Siliziumschichten (3) enthält, ist an mehreren Grenzflächen zwischen den Molybdänschichten (4) und den Siliziumschichten (3) jeweils eine Barriereschicht (5) angeordnet, die ein Siliziumnitrid oder ein Siliziumborid enthält. Durch die Barriereschichten (5) aus einem Siliziumnitrid oder einem Siliziumborid wird eine hohe thermische Stabilität, insbesondere eine hohe Langzeitstabilität bei Temperaturen von mehr als 300 DEG C, bei gleichzeitig hoher Reflexion des Multilayer-Spiegels erreicht. Ein derartiger Multilayer-Spiegel (1) kann insbesondere als heizbarer Kollektorspiegel einer EUV-Strahlungsquelle verwendet werden.