发明名称 Refraktives Projektionsobjektiv für Immersions-Lithographie
摘要
申请公布号 DE10394297(D2) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 DE2003194297 申请日期 2003.10.22
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 DODOC, AURELIAN;ULRICH, WILHELM;ROSTALSKI, HANS-JUERGEN
分类号 G03F7/20;G02B13/14 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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