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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEM POLIEREN
摘要
申请公布号 DE69927935(T2) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 DE19996027935T 申请日期 1999.07.31
申请人 DOOSAN DND CO., LTD. 发明人 LEE, KYU-HONG;LEE, YONG-BYOUK;KANG, SANG-WON
分类号 B24B41/047;H01L21/302;B24B7/00;B24B37/04;B24B47/12;B24B49/16;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B24B41/047
代理机构 代理人
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