SENSOR ELEMENT FOR A GAS SENSOR

摘要

Es wird ein Sensorelement für einen Gassensor zur Bestimmung der physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere der Konzentration einer Gaskomponente im Abgas von Brennkraftmaschinen, angegeben, das einen insbesondere laminierten Keramikkörper (11) mit einem Messgasraum (12) aufweist, der über eine Diffusionsbarriere (21) mit dem Messgas in Verbindung steht. Zur Erzielung einer für eine kontrollierte Gasdiffusion erforderlichen Gasdurchlässigkeit der Diffusionsbarriere (21) in engen Fertigungstoleranzgrenzen, so dass ein nachfolgendes Trimmen oder Kalibrieren des gefertigten Sensorelements entfallen kann, sind in der Diffusionsbarriere (21) Hohlräume in definierter, geometrischer Ordnung ausgebildet. Vorzugsweise sind die Hohlräume als feine verzweigte Kanäle (30) im µm-Bereich ausgebildet, durch deren Form und Anordnung die gewünschte Gasdurchlässigkeit hochgenau festgelegt werden kann.