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发明名称 ESC DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20060079335(A) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 KR20040117103 申请日期 2004.12.30
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, TAE HOON
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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