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发明名称
摘要
申请公布号 JP2006516813(A) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 JP20060500315 申请日期 2004.01.07
申请人 发明人
分类号 H01L27/12;B44C1/22;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/302;H01L21/762 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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