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发明名称 Verfahren zum Entfernen von Strukturen
摘要
申请公布号 DE10022656(B4) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 DE20001022656 申请日期 2000.04.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HARTNER, WALTER;AHLSTEDT, MATTIAS;SCHINDLER, GUENTHER;KASTNER, MARCUS;BEITEL, GERHARD;WEINRICH, VOLKER
分类号 H01L21/3213;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/108 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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