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发明名称 SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS FOR PREVENTING BREAKING AIRTIGHNESS DUE TO DOOR OPERATION
摘要
申请公布号 KR20060079474(A) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 KR20040117679 申请日期 2004.12.31
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YANG, DAE SEOK
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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