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发明名称 Verbesserung von Kontaktwiderständen in integrierten Schaltungen
摘要
申请公布号 DE60211820(D1) 申请公布日期 2006.07.06
申请号 DE20026011820 申请日期 2002.07.30
申请人 ZARLINK SEMICONDUCTOR LTD., SWINDON 发明人 ALESTIG, GORAN
分类号 H01L21/768;H01L21/02 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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