发明名称 塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法
摘要 本发明公开了一种塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法,包括以下步骤:提供一母模及一塑料基板,其中该母模具有一凸版结构;该母模对该塑料基板进行压出成形,其在该塑料基板上定义源/漏极位置;形成一第一电极层,其在该塑料基板的源/漏极位置形成源/漏极;形成多个半导体平台,每一该半导体平台覆盖一对该源/漏极;形成一第二电极层,其隔着该绝缘层而位于该半导体层上方;以及形成一保护层。
申请公布号 CN1797809A 申请公布日期 2006.07.05
申请号 CN200410103513.1 申请日期 2004.12.29
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 黄良莹;何家充;李正中
分类号 H01L51/40(2006.01) 主分类号 H01L51/40(2006.01)
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 梁挥;徐金国
主权项 1.一种塑料基板有机薄膜晶体管之制作方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一母模及一塑料基板,其中该母模具有一凸版结构;该母模对该塑料基板进行压出成形,其在该塑料基板上定义源/漏极位置;形成一第一电极层,其在该塑料基板之该源/漏极位置形成源/漏极;形成多个半导体平台,每一该半导体平台覆盖一对该源/漏极;形成一绝缘层;形成一第二电极层,其隔着该绝缘层而位于该半导体平台上方;以及形成一保护层。
地址 台湾省新竹县