发明名称 | 塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法,包括以下步骤:提供一母模及一塑料基板,其中该母模具有一凸版结构;该母模对该塑料基板进行压出成形,其在该塑料基板上定义源/漏极位置;形成一第一电极层,其在该塑料基板的源/漏极位置形成源/漏极;形成多个半导体平台,每一该半导体平台覆盖一对该源/漏极;形成一第二电极层,其隔着该绝缘层而位于该半导体层上方;以及形成一保护层。 | ||
申请公布号 | CN1797809A | 申请公布日期 | 2006.07.05 |
申请号 | CN200410103513.1 | 申请日期 | 2004.12.29 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 黄良莹;何家充;李正中 |
分类号 | H01L51/40(2006.01) | 主分类号 | H01L51/40(2006.01) |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁挥;徐金国 |
主权项 | 1.一种塑料基板有机薄膜晶体管之制作方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一母模及一塑料基板,其中该母模具有一凸版结构;该母模对该塑料基板进行压出成形,其在该塑料基板上定义源/漏极位置;形成一第一电极层,其在该塑料基板之该源/漏极位置形成源/漏极;形成多个半导体平台,每一该半导体平台覆盖一对该源/漏极;形成一绝缘层;形成一第二电极层,其隔着该绝缘层而位于该半导体平台上方;以及形成一保护层。 | ||
地址 | 台湾省新竹县 |