发明名称 |
图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
一种具有自对准微凸镜的图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括:形成于硅衬底的预定表面内的光电二极管;形成于硅衬底之上的平坦化层,平坦化层具有与光电二极管相对应的凹部;以及滤色器层,包括多个通过光刻工艺形成于平坦化层上的滤色器,每个滤色器都具有凸结构。聚焦凸镜的面积可以最大化,而且未聚焦光的相位信号被吸收以防止其光电转换,从而获得优异的光敏度。 |
申请公布号 |
CN1797778A |
申请公布日期 |
2006.07.05 |
申请号 |
CN200510125772.9 |
申请日期 |
2005.12.01 |
申请人 |
东部亚南半导体株式会社 |
发明人 |
金相植 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
余刚;吴贵明 |
主权项 |
1.一种图像传感器,包括:光电二极管,形成于硅衬底的预定表面内;平坦化层,形成于所述硅衬底之上,所述平坦化层包括与所述光电二极管相对应的凹部;以及滤色器层,包括多个通过光刻工艺形成于所述平坦化层上的滤色器,每个滤色器都具有凸结构。 |
地址 |
韩国首尔 |