发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 一种具有自对准微凸镜的图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括:形成于硅衬底的预定表面内的光电二极管;形成于硅衬底之上的平坦化层,平坦化层具有与光电二极管相对应的凹部;以及滤色器层,包括多个通过光刻工艺形成于平坦化层上的滤色器,每个滤色器都具有凸结构。聚焦凸镜的面积可以最大化,而且未聚焦光的相位信号被吸收以防止其光电转换,从而获得优异的光敏度。
申请公布号 CN1797778A 申请公布日期 2006.07.05
申请号 CN200510125772.9 申请日期 2005.12.01
申请人 东部亚南半导体株式会社 发明人 金相植
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余刚;吴贵明
主权项 1.一种图像传感器,包括:光电二极管,形成于硅衬底的预定表面内;平坦化层,形成于所述硅衬底之上,所述平坦化层包括与所述光电二极管相对应的凹部;以及滤色器层,包括多个通过光刻工艺形成于所述平坦化层上的滤色器,每个滤色器都具有凸结构。
地址 韩国首尔