BAKING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER,申请号KR20040117014-传众专利搜索

发明名称	BAKING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	KR20060078701(A)	申请公布日期	2006.07.05
申请号	KR20040117014	申请日期	2004.12.30
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	LEE, JIN SUNG;LEE, DONG WOO;KIM, TAE GYU;PARK, TAE SANG;LEE, BANG WEON;LIM, JONG KILL;JUNG, CHANG HOON;WEE, SANG KWON
分类号	H01L21/324	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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