发明名称 CLEANING CHEMICAL AND CLEANING METHOD FOR REMOVING ORGANIC MATERIAL IN CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PROCESS
摘要
申请公布号 KR20060076835(A) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040115188 申请日期 2004.12.29
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, HO YOUN
分类号 C11D3/43 主分类号 C11D3/43
代理机构 代理人
主权项
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