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发明名称 POLYMER RESIN AND COMPOSITION FOR ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING, AND METHOD OF PATTERN FORMATION USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060078379(A) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040117983 申请日期 2004.12.31
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 LIM, YEON HWA
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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