发明名称 |
电子显微镜检测样品用的研磨工具 |
摘要 |
制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具,包括:底座A,具有T形结构;上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4;样品底座A5;左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端,上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端;锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置;样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边,用样品底座A5固定待研磨的样品A6,其特征是,还包括两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8,两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处的平行六面体上,分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。 |
申请公布号 |
CN1796050A |
申请公布日期 |
2006.07.05 |
申请号 |
CN200410099076.0 |
申请日期 |
2004.12.27 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
秦立勇;邹丽君;陈强;陈险峰 |
分类号 |
B24B37/00(2006.01) |
主分类号 |
B24B37/00(2006.01) |
代理机构 |
上海新高专利商标代理有限公司 |
代理人 |
楼仙英 |
主权项 |
1、制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具,T-形研磨工具包括:底座A,具有T形结构;上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4;样品底座A5;左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端,上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端;锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置;样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边,用样品底座A5固定待研磨的样品A6,其特征是,还包括两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8,两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处构成的平行六面体上,分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 |