发明名称 电子显微镜检测样品用的研磨工具
摘要 制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具,包括:底座A,具有T形结构;上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4;样品底座A5;左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端,上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端;锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置;样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边,用样品底座A5固定待研磨的样品A6,其特征是,还包括两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8,两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处的平行六面体上,分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。
申请公布号 CN1796050A 申请公布日期 2006.07.05
申请号 CN200410099076.0 申请日期 2004.12.27
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 秦立勇;邹丽君;陈强;陈险峰
分类号 B24B37/00(2006.01) 主分类号 B24B37/00(2006.01)
代理机构 上海新高专利商标代理有限公司 代理人 楼仙英
主权项 1、制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具,T-形研磨工具包括:底座A,具有T形结构;上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4;样品底座A5;左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端,上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端;锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置;样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边,用样品底座A5固定待研磨的样品A6,其特征是,还包括两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8,两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处构成的平行六面体上,分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。
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