光纤干涉式厚度测量装置及其测量方法

摘要

本发明涉及一种光纤干涉式厚度测量装置，其包括一测量光源、一光耦合器、一第一光纤、一第二光纤、一电光调制器、一光感知器，一信号处理器和一正弦信号产生器，其中，该测量光源连接至光耦合器，该光耦合器分别连接该两光纤的输入端，该电光调制器设置在该两光纤之一上，该光感知器连接至该光耦合器，并将包含厚度量测信息的干涉光信号转变成包含厚度量测信息的电信号输出至信号处理器。相较于现有技术，本发明结构简单，且信号分辨率高。本发明还涉及一种应用该光纤干涉式厚度测量装置的测量方法。

主权项

1.一种光纤干涉式厚度测量装置，其包括：一测量光源、一光感知器，其特征在于：其进一步包括一光耦合器、两光纤、一电光调制器、一信号处理器及一正弦信号产生器，其特征在于：该测量光源的输出端连接至光耦合器的输入端，该光耦合器的输出端分别连接二光纤的输入端，该电光调制器设置在该两光纤之一上，其利用电光效应将正弦信号产生器产生的正弦信号施加在该两光纤之一传输的光信号上，该光感知器的输入端连接至该光耦合器的输入端，其接收经由两光纤传输至光耦合器的包含厚度量测信息的干涉光信号，并将包含厚度量测信息的干涉光信号转变成包含厚度量测信息的电信号后输出至信号处理器。