发明名称 |
METHOD FOR MONITORING THE CRITICAL DIMENSION OF CONTACT HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20060077623(A) |
申请公布日期 |
2006.07.05 |
申请号 |
KR20040116531 |
申请日期 |
2004.12.30 |
申请人 |
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, HYUNG SEOK |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/66;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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