发明名称 METHOD OF DETECTING END POINT IN THE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 KR20060077012(A) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040115648 申请日期 2004.12.29
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, HONG LAE
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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