具有光瞳遮蔽的物镜

摘要

物镜(1)具有：第一部分物镜(3)，其将第一场平面(7)投影到中间图像(11)上且包括具有第一镜孔径(15)的第一凸面镜(13)和具有第二镜孔径(19)的第二凹面镜(17)，所述第一镜(13)具有距所述第二镜(17)的第一轴上间距，且所述第二镜(17)具有距所述中间图像(11)的第二轴上间距，以及第一轴上间距与第二轴上间距的比率具有在0.95至1.05、尤其是在0.98至1.02之间的值；以及第二部分物镜(5)，其将所述中间图像(11)投影到第二场平面(9)上且包括具有第三镜孔径(23)的第三凹面镜(21)和具有第四镜孔径(27)的第四凹面镜(25)，所述第三镜(21)具有距第二场平面(9)的第三轴上间距ZM3-IM，所述第三轴上间距与第二场平面(9)内的数值孔径NA以及与第三镜(21)的直径Du_M3具有下述关系：(I)，所述物镜(1)具有Petzval半径，所述半径的绝对值大于所述第一场平面(7)距所述第二场平面(9)的轴上间距。

主权项

1.物镜(1，201，301，401，501，601)，具有：-第一部分物镜(3，203，303)，其将第一场平面(7，207，307)投影到中间图像(11，211，311)上且包括具有第一中央镜孔径(15，215，315)的第一凸面镜(13，213，313)和具有第二中央镜孔径(19，219，319)的第二凹面镜(17、217、317)，所述第一凸面镜(13，213，313)具有距所述第二凹面镜(17，217，317)的第一轴上间距，且所述第二凹面镜(17，217，317)具有距所述中间图像(11，211，311)的第二轴上间距，以及第一轴上间距与第二轴上间距的比值在0.95至1.05之间，以及-第二部分物镜(5，205，305)，其将所述中间图像(11，211，311)投影到第二场平面(9，209，309)上且包括具有第三中央镜孔径(23，223，323)的第三凹面镜(21，221，321)和具有第四中央镜孔径(27，227，327)的第四凹面镜(25，225，325)，所述第三凹面镜(21，221，321)具有距第二场平面(9，209，309)的第三轴上间距ZM3-IM，所述第三轴上间距与第二场平面(9，209，309)内的数值孔径NA以及与第三凹面镜(21，221，321)的直径DuM3具有下述关系：$0.03·{\mathrm{Du}}_{M3}+5.0\mathrm{mm}<Z_{M3-\mathrm{IM}}<\frac{0.25·{\mathrm{Du}}_{M3}}{\tan \left(\arcsin \left(\mathrm{NA}\right)\right)},$ 所述物镜(1，201，301，401，501，601)具有Petzval半径，所述半径的绝对值大于所述第一场平面(7，207，307)距所述第二场平面(9，209，309)的轴上间距。