HOME SENSOR BAR GUIDE OF LOADLOCK CHAMBER STAGE,申请号KR20040118180-传众专利搜索

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发明名称	HOME SENSOR BAR GUIDE OF LOADLOCK CHAMBER STAGE
摘要
申请公布号	KR20060078835(A)	申请公布日期	2006.07.05
申请号	KR20040118180	申请日期	2004.12.31
申请人	DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	CHOI, IL KYU
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
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