防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置

摘要

防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置，检测装置包括：光源、摄像机镜头、图像传输模块、计算机中心处理器、信息传送模块、信息识别模块和报警装置。这些装置都是现有装置，根据本发明目的选择合适的现有的装置，并将它们组装成按本发明的检测装置，用该检测装置实时检测被托杆(1)支撑的晶片位置状态，防止用机械手从处理室内送/取晶片时机械手碰撞晶片造成晶片损坏。

主权项

1、防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置，检测装置包括：光源、摄像机镜头、图像传输模块、计算机中心处理器、信息传送模块、信息识别模块和报警装置，其特征是：光源，设置在处理室内，为摄像机提供摄像必须的光；摄像机安装在机械手前端的载片板上，用于获取在处理室内支承在托杆(1)上的晶片位置图像；图像传输模块，用传输线将用摄像机镜头获得的晶片位置图像传送到计算机中心处理器；计算机中心处理器，设置有专用视觉板卡(Frame grabber)和图像处理模块，通过与专用视觉板卡配套的视觉系统，进行图像快速处理，在图像处理模块中完成：图像去起噪、图像增强、图像边缘提取或BLOB分析，通过与计算机中存储的处理室内托杆(1)上支承的晶片正常水平位置信息对比，获得处理室内托杆(1)上支承的晶片当前位置信息；信息传送模块，将经计算机中心处理器处理后获得的处理室内托杆(1)上支承的晶片当前位置信息传送到信息识别模块；信息识别模块，确认处理室内托杆(1)上支承的晶片当前位置是否处于水平位置，如果处理室内托杆(1)上支承的晶片当前位置是处于水平位置，信息识别模块向机械手发出正常运行指令，机械手从托杆(1)上提取处理后的晶片；如果处理室内托杆(1)上支承的晶片当前位置不是处于水平位置，信息识别模块，向报警装置发出报警指令；报警装置根据报警指令报警，现场操作人员根据报警信号处理处于异常位置的晶片。