| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION OF A METALLIC OR METAL-CONTAINING LAYER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1383938(B1) |
申请公布日期 |
2006.07.05 |
| 申请号 |
EP20020730204 |
申请日期 |
2002.04.24 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SELL, BERNHARD;SAENGER, ANNETTE;HECHT, THOMAS |
| 分类号 |
C23C16/02;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/78 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
