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发明名称
APPARATUS FOR SUPPORTING A WAFER CARRIER AND APPARATUS FOR TRANSPORTING A WAFER HAVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060077981(A)
申请公布日期
2006.07.05
申请号
KR20040116640
申请日期
2004.12.30
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SHIN, HEE SEOK
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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