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发明名称 REGENERATION METHOD FOR HAFNIUM OXIDE DUMMY WAFER
摘要
申请公布号 KR20060077788(A) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040117321 申请日期 2004.12.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, WOO JIN;OH, HOON JUNG;CHOI, BAIK IL;YOON, HYO GUN;YOON, HYO SEOB;OH, PYEONG WON
分类号 H01L21/304;H01L21/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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