发明名称 Method for forming metal line in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100596794(B1) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040099138 申请日期 2004.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址