固体摄像元件、固体摄像器件及其制造方法

摘要

本发明提供一种固体摄像元件、固体摄像器件及其制造方法。具有使低折射率材料(1)和高折射率材料(2)交替层叠的折射率周期构造、以及在面内方向上为同心且相似的形状(圆或者多边形)的折射率周期构造的光子晶体，配置在各光电转换元件上而构成固体摄像元件(11a、11b和11c)。只用本光子晶体就能同时进行RGB的色分离和聚光。另外，本光子晶体，对于具有层叠方向的折射率周期构造的多层膜，能用通过光刻和刻蚀在面内方向上设置同心且相似形状的空洞的方法来制造，或者在面内方向上形成同心且相似形状的基底上，能用通过自己隆起设置面内方向和层叠方向的折射率周期构造的方法来制造。

主权项

1.一种固体摄像元件，包括光电转换元件和在上述光电转换元件上形成的光学元件，其特征在于，上述光学元件具有使折射率不同的至少两种透光材料层叠而构成的具有预定折射率的折射率周期构造；上述折射率周期构造具有在层叠方向上的周期构造、以及在面内方向上呈同心且相似形状的周期构造。