发明名称 DOUBLE PULLBACK METHOD OF FILLING AN ISOLATION TRENCH
摘要
申请公布号 EP1502297(B8) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 EP20030729419 申请日期 2003.01.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 VON EHRENWALL, ANDREAS
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/311;H01L21/316 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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