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发明名称
DOUBLE PULLBACK METHOD OF FILLING AN ISOLATION TRENCH
摘要
申请公布号
EP1502297(B8)
申请公布日期
2006.07.05
申请号
EP20030729419
申请日期
2003.01.03
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
VON EHRENWALL, ANDREAS
分类号
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/311;H01L21/316
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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