摄像装置及其制造方法

摘要

一种摄像装置，其具有：立体基板，其为部具有开口部(10a)的隔板(11)横跨内腔而形成；滤光器(5)，其覆盖开口部并被固定在隔板的两个面中的第1平面(12)上；半导体摄像元件(4)，其摄像区域(4a)面对开口部，利用倒装法安装在隔板的第2平面(13)上；以及光学系统，其安装在立体基板的内腔中的滤光器一侧，用于摄像。隔板的开口部两侧由滤光器和半导体摄像元件密封而形成空腔。使空腔和立体基板外部连通的通气道(12a)形成在第1平面上，并具有通过的空气的流速根据位置而不同的迷宫式结构。由半导体摄像元件和滤光器围成的空腔和外部之间能够空气流通，而且利用伴随空气的膨胀、收缩的空气流能够抑制灰尘从外部侵入空腔内。

主权项

1、一种摄像装置，其具有：立体基板，其为在中央部具有开口部的隔板横跨内腔而形成；滤光器，其覆盖上述开口部并被固定在上述隔板的两个面中的第1平面上；半导体摄像元件，其摄像区域面对上述开口部、利用倒装法安装在上述隔板的第2平面上；以及光学系统，其安装在上述立体基板的内腔中的上述滤光器一侧，用于摄像；上述隔板的开口部的两侧由上述滤光器和上述半导体摄像元件密封而形成空腔，其特征在于：使上述空腔和上述立体基板外部连通的通气道形成在上述第1平面上，上述通气道具有使通过的空气的流速根据位置而不同的迷宫式结构。