基板处理系统及其控制方法、控制程序、存储介质

摘要

在传送控制表上，生成不同的A组、B组的传送时间表SA及传送时间表SB，在不与先行的A组的传送时间表SA产生干扰的范围内，使后续的传送时间表SB沿所述时间轴方向一直向前移动，使后续的传送时间表SB的开始时间比先行的A组的传送时间表SA的结束时间早，使传送时间表SA与传送时间表SB并行实施，由此可提高晶片的传送处理的生产率。

主权项

1.一种基板处理系统，其包含基板被送入、送出的多个模块和使所述基板在所述模块之间移动的基板移动机构，其包括：传送控制表，存储表示所述基板传送时间与该基板被送入、送出的所述模块的关系的传送时间表；控制单元，具有在所述传送控制表上生成组单位的多个所述基板的所述传送时间表的的功能，以及基于从所述传送控制表读出的所述传送时间表，来控制所述基板移动机构的功能。