发明名称 |
具有传感器的流体喷射装置及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供一种具有传感器的流体喷射装置及其制造方法。流体喷射装置包括一基底。一结构层,设置在该基底上,且在与基底之间形成一流体腔。至少一气泡产生装置,设置于该结构层上该流体腔的对应侧。至少一线状电阻传感器,连接上述流体腔。一保护层,覆盖该气泡产生装置与该线状电阻传感器。以及一喷孔,邻近该气泡产生器且穿透该保护层与该结构层,且与该流体腔连通。 |
申请公布号 |
CN1796127A |
申请公布日期 |
2006.07.05 |
申请号 |
CN200410081965.4 |
申请日期 |
2004.12.30 |
申请人 |
明基电通股份有限公司 |
发明人 |
周忠诚;黄宗伟;周凯彬 |
分类号 |
B41J2/14(2006.01);B41J2/16(2006.01);B41J2/01(2006.01) |
主分类号 |
B41J2/14(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种具有传感器的流体喷射装置,包括:一基底;一结构层,设置在所述基底上,且与所述基底之间形成一流体腔;至少一个气泡产生装置,设置于所述结构层上所述流体腔的对应侧;至少一个线状电阻传感器,与所述流体腔连接;一保护层,覆盖所述气泡产生装置与所述线状电阻传感器;以及一喷孔,邻近所述气泡产生器且穿透所述保护层与所述结构层,且与所述流体腔连通。 |
地址 |
台湾省桃园县 |