发明名称 具有传感器的流体喷射装置及其制作方法
摘要 本发明提供一种具有传感器的流体喷射装置及其制造方法。流体喷射装置包括一基底。一结构层,设置在该基底上,且在与基底之间形成一流体腔。至少一气泡产生装置,设置于该结构层上该流体腔的对应侧。至少一线状电阻传感器,连接上述流体腔。一保护层,覆盖该气泡产生装置与该线状电阻传感器。以及一喷孔,邻近该气泡产生器且穿透该保护层与该结构层,且与该流体腔连通。
申请公布号 CN1796127A 申请公布日期 2006.07.05
申请号 CN200410081965.4 申请日期 2004.12.30
申请人 明基电通股份有限公司 发明人 周忠诚;黄宗伟;周凯彬
分类号 B41J2/14(2006.01);B41J2/16(2006.01);B41J2/01(2006.01) 主分类号 B41J2/14(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种具有传感器的流体喷射装置,包括:一基底;一结构层,设置在所述基底上,且与所述基底之间形成一流体腔;至少一个气泡产生装置,设置于所述结构层上所述流体腔的对应侧;至少一个线状电阻传感器,与所述流体腔连接;一保护层,覆盖所述气泡产生装置与所述线状电阻传感器;以及一喷孔,邻近所述气泡产生器且穿透所述保护层与所述结构层,且与所述流体腔连通。
地址 台湾省桃园县