| 发明名称 | 微型图像的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微型图像的制作方法，包括下列步骤：提供一清洁无污染的媒介物体；将光致抗蚀材料的微流体布着于媒介物体的表面而形成一第一微流体层；以及利用一第一掩膜板对第一微流体层进行曝光与显影，并获得所欲的精确的微型图像。其中，第一微流体层显影前的宽度大于第一微流体层显影后的微型图像的宽度，而且，第一微流体层显影前的高度大于第一微流体层显影后的微型图像的高度。本发明克服了膜厚平坦性的问题，而可得到高均匀度膜厚的各种精确图样。 | ||
| 申请公布号 | CN1797201A | 申请公布日期 | 2006.07.05 |
| 申请号 | CN200410103534.3 | 申请日期 | 2004.12.29 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈锦泰;邱庆龙;洪基彬 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇;王一斌 |
| 主权项 | 1、一种微型图像的制作方法，其特征在于所述微型图像的制作方法包括下列步骤：提供一清洁无污染的媒介物体；将一光致抗蚀材料的微流体布着于该媒介物体的表面而形成一第一微流体层；以及利用一第一掩膜板对该第一微流体层进行曝光与显影，并获得所欲的精确的微型图像。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹县竹东镇中兴路四段一九五号 | ||