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发明名称 WAFER POSITION COMPENSATION SYSTEM OF LOAD LOCK CHAMBER AND THE METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060078948(A) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040118203 申请日期 2004.12.31
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHO, HYUN YONG
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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