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发明名称 SLURRY FOR FINAL POLISHING OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 KR20060078761(A) 申请公布日期 2006.07.05
申请号 KR20040118080 申请日期 2004.12.31
申请人 CHEIL INDUSTRIES INC. 发明人 PARK, TAE WON;ROH, HYUN SOO;LEE, TAE YOUNG;LEE, IN KYUNG
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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